315 | Simmerfly为半导体行业提供完整而完整的解决方案

2019-02-23 16:36 来源:站长作者:站长
  

在《国家集成电路产业发展推进纲要》和国家集成电路产业投资基金的推动下,中国半导体市场已成为全球增长引擎。半导体用于集成电路,就像土地在城市中一样。世界上所有国家都将集成电路产业视为战略产业,竞相投入大量人力资源、。因此,许多观点认为,如果特朗普不停止这一收购计划,Broadcom将是收购高通后唯一一家,这将严重影响美国在该领域的技术进步速度,这可能会导致未来美国在移动通信领域的国际竞争。它处于低迷状态。

但是,对国家经济发展非常重要的半导体产业面临着一些技术问题,如单晶硅锭和晶圆的质量问题。、清洗剂和蚀刻剂中的离子杂质、金属杂质、等有机杂质,会产生产量受到影响,导致经济效益下降。

315 | Simmerfly为半导体行业提供完整而完整的解决方案

Thermo Fisher可为半导体及相关行业的关键方面提供技术支持和完整解决方案,如痕量金属和无机杂质检测解决方案、痕量离子杂质检测方案、RoHS解决方案、环境安全解决方案,全方位满足分析需求。

在中国国际半导体设备和材料展览会(SENICONCHINA)上,赛默飞世尔推出了新的ThermoScientifi?c?iCAP?TQsICPMS。

电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)可以很容易地在高纯度试剂(清洁剂和蚀刻剂)中进行微量元素杂质。晶片中、单晶硅锭和微量元素的实验室和在线分析。、表面痕量元素分析和RoHS指令中铅(Pb)、镉(Cd)、汞(Hg)、六价铬(Cr(VI))等重金属元素的测定。

iCAPTQsICPMS是信誉良好的iCAPTQ ICP-MS的专用半导体版本。它在超高纯度化学品中提供快速、可靠且可重复的低水平污染物测量,以支持先进半导体制造工艺的自动在线监测和统计过程控制。新的超低检测水平和高性能解决方案的简单性。有了这个新系统,现在可以将化学分析从实验室转移到工厂,并支持化学浴的在线控制,以优化响应时间。

问一个问题

iCAPTQs ICP-MS的技术挑战是什么?(1)VPD解决方案的分析

气相分解 - 电感耦合等离子体质谱(VPD-ICP-MS)方法具有行业要求的检测限和稳定性。测试结果快速可靠。它广泛用于硅晶片的测试。通常需要硅晶片的纯度。 99.9999999%或更高。

纯度要求如此之高,ICP-MS应该展示其才华!

VPD样品含有高水平的酸和硅基质,目标检测元素的含量通常非常低。由于基质溶液产生大量的多原子离子干扰(如表1所示),因此VPD溶液的测试极性极端。具有挑战性的。为了获得更准确的结果,必须去除干扰,例如使用级联ICP-MS,高分辨率ICP-MS和使用碰撞池。

(2)半导体级异丙醇分析

当使用异丙醇(IPA)清洁硅晶片的溶剂时,它将与硅晶片的表面直接接触。因此,必须控制痕量金属杂质浓度。使用高灵敏度ICP-MS技术直接分析IPA可有效控制IPA中的超痕量分析物(ng?L-1),避免样品制备造成的污染。

ICAPTQs ICP-MS结合了三重四极杆和冷等离子体技术,这是一种高度灵活的方法,可实现半导体行业分析所需的超痕量背景等效浓度(BEC)和检测限(LOD)。

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校准数据

图4显示了Li、P、K、Ti、As、Zr和IPA中Ta的校准曲线。使用校准标准在ng·L-1水平范围内测量的校准曲线表现出优异的线性和灵敏度。通过三重四极杆模式和冷等离子体改善干扰消除,可以为更具挑战性的分析物提供低背景噪音。

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02RoHS解决方案

Thermo Scientific为RoHS指令中的PBB,、多溴联苯醚阻燃剂、邻苯二甲酸盐和多环芳烃等有害物质提供加速溶剂萃取(ASE)预处理。、气相色谱(GC)、气相色谱 - 质谱(GC-MS)和高效液相色谱(HPLC)检测技术,并提供原子吸收光谱仪(AAS)、电感耦合等离子体发射光谱仪(ICP-OES)、电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)和离子色谱仪(IC)用于测定镉、铅和汞,并分离和测量六价铬。有关详细信息,请参阅《RoHS指令检测产品及技术——色谱质谱及光谱仪综合解决方案》或与我们联系。